芯片的固定装置[实用新型专利]

来源：划驼旅游

专利内容由知识产权出版社提供

专利名称：芯片的固定装置专利类型：实用新型专利

发明人：冯晓宇,邓大伟,王成刚,谢珩,王骏,黄婷申请号：CN202020872559.4申请日：20200522公开号：CN212182292U公开日：20201218

摘要：本实用新型提出了一种芯片的固定装置，固定装置包括：基台和抽气组件，基台设有多个用于放置芯片的容置槽，每个容置槽的底部设有与基台内部的真空腔连通的吸孔；抽气组件与真空腔连通，用于对真空腔进行抽气。根据本实用新型的芯片的固定装置，可以将多个待加工芯片牢固地吸附固定于对应的容置槽内。由此，可以通过固定装置同时移动多个待加工芯片进行加工作业。由此，提高了芯片的加工效率，降低了芯片的制作成本。而且，可以有效避免相关技术中通过镊子夹取芯片而导致芯片损坏的问题。

申请人：中国电子科技集团公司第十一研究所

地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥路4号

国籍：CN

代理机构：工业和信息化部电子专利中心

代理人：华枫

更多信息请下载全文后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文