光学面形的检测装置及光学面形的检测方法[发明专利]

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专利名称：光学面形的检测装置及光学面形的检测方法专利类型：发明专利发明人：贾辛,邢廷文

申请号：CN201010266732.7申请日：20100824公开号：CN101949690A公开日：20110119

摘要：本发明是光学面形的检测装置及光学面形的检测方法，装置激光器发射光经半透半反镜、准直光学单元产生照明光，第一和第二夹持架上的待测面产生干涉光并经光路返回后半透半反镜再由会聚光学单元收集到CCD探测器；移相器用来产生移相；角度测量单元，用来测量第一和第二夹持架上待测面的角度差。方法把第一、第二待测平面分别放在第二、第一夹持架，干涉测量第一和第二待测平面之间的光程差；第一待测平面相对于初始位置旋转一些特定角度并测量第一和第二待测平面之间的光程差，第一待测平面旋转180度再将第三待测平面放在第一夹持架，测量第一和第三待测平面之间的光程差，用第二待测平面放在第二夹持架测量第二和三待测平面之间的光程差。

申请人：中国科学院光电技术研究所

地址：610209 四川省成都市双流350信箱

国籍：CN

代理机构：中科专利商标代理有限责任公司

代理人：梁爱荣

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