专利名称：一种分光干涉膜厚测量仪专利类型：实用新型专利发明人：雷枫,李少博,问孝明申请号：CN201420114500.3申请日：20140314公开号：CN204043622U公开日：20141224
摘要：本实用新型公开了一种分光干涉膜厚测量仪，包括样品台、连接臂、电动机、移动座、镜头、光源、分光模块和计算机，所述连接臂的一端安装于所述样品台的一侧，所述连接臂的另一端与所述电动机连接，所述电动机的转轴与所述移动座的一侧连接，所述镜头安装于所述移动座上，所述光源的信号输出端和所述分光模块的信号输出端均与所述镜头连接，所述计算机的信号输出端与所述分光模块的信号输入端连接。本实用新型设计一种结构较为简单的分光干涉膜厚测量仪，能够精确的测量出分光噶社的膜厚，其性能较为稳定。
申请人：北京普瑞微纳科技有限公司
地址：100080 北京市海淀区中关村东路95号8号楼415室
国籍：CN
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