您的当前位置：首页用于光刻机上的真空检测装置

用于光刻机上的真空检测装置

来源：划驼旅游

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（21）申请号 CN2016214925.6 （22）申请日 2016.12.30

（71）申请人杭州士兰集成电路有限公司

地址 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发区10号大街(东)308号

（10）申请公布号 CN2021158U

（43）申请公布日 2017.08.18

（72）发明人周文林;邓涛

（74）专利代理机构北京成创同维知识产权代理有限公司

代理人蔡纯

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（）发明名称

用于光刻机上的真空检测装置

（57）摘要

公开了一种用于光刻机上的真空检测装

置，其包括：真空导管，与光刻机的吸附装置连接；以及数字真空压力传感器，包括真空输入口与信号输出端，所述真空输入口与所述真空导管连接，所述信号输出端直接与所述光刻机的信号接收模块相连接。该真空检测装置采用数字真空压力传感器代替现有的模拟真空压力传感器，并将数字真空压力传感器的信号输出端直接与光刻机的信号接收模块相连接，省去了传统真空检测

装置上设置的比较模块，结构更精简，并且对光刻机的吸附装置的真空检测的灵敏度更高，检测结果更准确。

法律状态

法律状态公告日

2017-08-18

授权

法律状态信息

授权

法律状态

权利要求说明书

用于光刻机上的真空检测装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看

说明书

用于光刻机上的真空检测装置的说明书内容是....请下载后查看

因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容

查看全文