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关于工艺方面异常分析综合报告

Multicrystalline Wafer

Date:2010.03.20

一、目录

1.断线 2.线痕 3.厚薄片 4.隐裂 5.缺角 6.崩边 7.弯曲片 8.掉棒 9.掉片 10·过滤袋堵塞

11.如何避免断线和断线的解决办法

12·钢线张力异常会引起以下现象

一、断线

1.断线分为3个部分：①放线轮断线 ②收线轮断线 原因分析：

③线网断线 ④切割快结束后断线

①放线轮断线：最常见的是钢线质量问题造成断线;其次张力异常造成断线;垂直度不垂直造成断线;滑轮质量问

题造成断线’滑轮没有及时更换造成断线;张力方大器故障造成断线;导论驱动异常造成断线。 其次放线轮压线断线分为假压线和真压线两种 ：

在这两种情况下真压线的断线率比假压线的高。其主要原因是在钢线本身，还有一种可能是断线后采用反切方 法排线不正确也会产生。

②收线轮断线：其一排线的问题。在切割过程中收线轮处的排线轮由于行程有细微的过大，而切割后的钢线本

身在切割过程中有了比较均匀的磨损；由于排线轮的行程大了一点，线和收线轮的飞边相摩擦产生一个切向力 （废钢线也有一定的张力）。被收线轮的飞边给切断的。如果在微观发方面看的话，是由于排线行程过大的那 一刹那

其二收线轮的原因。在排线正常的情况下由于收线轮的飞边上有金属毛刺。在收线轮高速旋转的情况下，在飞 边上的毛刺产生切向力很大足以截断一根0.140和0.120的钢线。

其三收线轮处的张力臂张力不平稳。在一切情况都排除在外时收线轮处的断线最有可能是由于收线轮处的张力 臂张力不平稳引起的，忽高忽低的张力给废钢线施加了一个变量的力。在金属力学中这是一大忌，钢线就是这

样被疲劳拉断了。

其四滑轮质量问题或滑轮没有及时更换造成断线。

一、断线

③线网断线：导论没有处理干净，在高速切割中钢线因杂质而脱离导轮槽，导致钢线飞线（跳线），随 着高速运转的钢线，跳线处与晶棒摩擦要比正常切割线网区域摩擦更严重，随着切割时间延长，砂浆的 切割力也慢慢下降，跳线位置可能会断线;晶棒两端斜面过大在切割中切到斜面边缘处钢线容易打滑， 钢线脱离线槽，会把端面位置碎片带进线网，造成断线;晶棒本身有杂质硬点，造成断线;导轮槽磨损， 切割中钢线会错位，会引起硅片断裂，硅渣进入线网造成断线;钢线质量问题，切割中会造成线网断线; 砂浆密度过高，切割力达不到，造成没有规律性的线网断线;砂浆帘赌赛，砂浆断流，钢线和晶棒干磨 ，造成线网断线;导轮驱动异常，可能会引起线网断线;导向条下面有空隙，切割入刀口时碎导向条会与 钢线的切割方向，把硬物带进线网，造成断线。

④切割快结束后断线：其一线速也是断线的一种因素之一，在线速迅速降低也是致命的。这时候钢线由 于惯性还的在向前运动，可是导轮已经按照降速后运转，同时晶棒还是在下降。这时钢线会在晶体中形 成褶皱，在钢线上产生应力点；也就给断线埋下了隐患。这种断线对处发生在将要结束的时候。其二晶 棒粘接对接处胶抹的太多，快要切完时的线网直接与对接处的胶接触，胶多过线网会直接将其带进线网 导致断线。

二、线痕

1.线痕分为10种：①表面均匀线痕②厚薄片表面有一条线痕③入刀口线痕④ 出刀口线 痕⑤中部线痕⑥硬点线痕⑦进刀口⑧倒角处的线痕⑨出线位置硅棒的线痕 原因分析：

①表面均匀线痕：砂浆更换量不足，钢线带砂量太少，造成没有足够的切割能力，严重摩擦导致均匀线痕， 冷却水温度过高，导致均匀线痕;

②厚薄片表面有一条线痕：切割中有杂质进入线网，线网瞬间跳线，钢线脱离线槽，造成切割定位，导 致厚薄片，在线网瞬间跳线时，钢线在交叉时，与晶棒摩擦造成一道线痕;导轮表面磨损，钢线会挤在 一起，砂浆分布不均匀，造成线痕;

③入刀口线痕：切割入刀口时，导向条有空隙，硬物进入线网，钢线跳线瞬间会引起线痕;

④ 出刀口均匀线痕：砂浆少更换10~20L，切割快结束后，砂浆的颗粒基本上已经很疲惫了，棱角几乎已经 变圆，切割力已经到了疲惫状态，随着钢线不断的磨损，切割力达不到，就会造成出刀口线痕; ⑤中部线痕:切割中，砂浆嘴断流，造成硅片中部线痕;

⑥硬点线痕：硅片来料硬点，切割中小硬点可能不会造成线网断线，但钢线切到硬点时，不会与其他位置切 割力一样，难免会在硬点处停留数秒，这期间会造成一道线痕;

⑦进刀口：由于刚开始切割，钢线处在不稳定状态，钢线的波动产生的线痕;

⑧倒角处的线痕：由于在粘结硅棒时底部残留有胶，到倒角处钢线带胶切割引起的线痕;

⑨出线位置硅棒的线痕：钢线磨损量大，造成钢线光洁度、圆度不够，携带砂浆数量低，切削能力下降，线 膨胀系数增大引起的。

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